檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "廖顯奎".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="絕緣層上覆矽"
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絕緣層上覆矽(Silicon-on-insulator, SOI)是近年來廣泛應用在高速且低功耗電子元件,因為其具有高折射率係數且可大幅縮小元件體積,同時製作方式與互補式金屬氧化物半導體(Compl…
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絕緣層上覆矽廣泛的應用於高速且低功耗電子元件,因為相容於金屬氧化物半導體標準製程也應用於高密度積體光學元件,此外,絕緣層上覆矽的覆矽層與埋藏氧化層間的高折射率差將可縮小元件至次微米級之應用。 …